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发明名称
搬送システム
摘要
【課題】簡易な構成で小型化の可能な搬送システムを提供する。【解決手段】複数のコイルが設けられた固定子と、固定子に沿って移動可能な台車と、台車に設けられるとともに、複数のコイルから発生する磁力により台車を駆動する台車駆動マグネットと、台車に設けられるとともに、複数のコイルから発生する磁力によりアクチュエータを駆動する受力用マグネットを有する受力部と、を備える。【選択図】 図2
申请公布号
JP2017022155(A)
申请公布日期
2017.01.26
申请号
JP20150135910
申请日期
2015.07.07
申请人
キヤノン株式会社
发明人
友田 幸治;山本 武
分类号
H01L21/677;H02K41/03
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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