レジスト組成物

摘要

【課題】良好なフォーカスマージン（ＤＯＦ）でレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】式（Ｉ）で表される構造単位、式（ＩＩ）で表される構造単位及び酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂（Ａ１）と、酸発生剤とを含有するレジスト組成物。【選択図】なし