| 摘要 |
基板を処理する基板処理工程を行う基板処理装置の状態を示すモニタデータを受信して蓄積する蓄積工程と、前記モニタデータの上限値又は下限値をそれぞれ設定する上下限値設定工程と、前記基板処理工程のモニタデータが、設定された前記上限値又は前記下限値を超えた場合に、前記基板処理工程の基板処理結果が正常であるか否かを判断する処理結果判断工程と、前記処理結果判断工程において前記基板処理工程の基板処理結果が正常であると判断された場合に、設定された前記上限値又は前記下限値を超えたモニタデータを、新たな上限値又は下限値とする更新工程と、を備えるように基板処理装置の異常判定方法を構成する。 |
