蒸着ユニットおよび蒸着装置

摘要

蒸着ユニット（１）は、蒸着源（１０）と第１の制限板ユニット（２０）および第２の制限板ユニット（３０）を少なくとも有する複数段の制限板ユニットと蒸着マスク（４０）とをこの順に備え、第１の制限板ユニット（２０）は複数の第１の制限板（２２）を備え、第２の制限板ユニット（３０）は複数の第２の制限板（３２）を備え、Ｚ軸方向から見たときに第２の制限板（３２）が、Ｙ軸方向に交差する方向に延設されている。