发明名称 |
感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法、並びに半導体装置 |
摘要 |
【課題】ノンスピン塗布法に好適な感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いてポリイミドパターンを形成する硬化レリーフパターンの製造方法並びに半導体装置を提供する。【解決手段】(A)ポリイミド前駆体:100質量部、(B)光重合開始剤:1質量部以上20質量部以下、(C)大気圧下における沸点が180℃以上である有機溶媒、並びに、(D)大気圧下における沸点が130℃以上160℃以下である有機溶媒:全量が185〜600質量部、を含み、23℃における粘度が0.5P以上40P以下である、感光性樹脂組成物。【選択図】なし |
申请公布号 |
JP2017021113(A) |
申请公布日期 |
2017.01.26 |
申请号 |
JP20150137061 |
申请日期 |
2015.07.08 |
申请人 |
旭化成株式会社 |
发明人 |
藤田 充 |
分类号 |
G03F7/027;C08F290/00;C08G73/12;G03F7/004;G03F7/20;H01L21/312 |
主分类号 |
G03F7/027 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|