| 摘要 |
【目的】本発明は、電子ビーム測定装置および電子ビーム測定方法に関し、試料上の測定対象のパターンのエッジ部分を含む必要最小限の画像を取得して測定し、測定の再現性を確保した上で画像取得時間を短縮してスループットを向上させることを目的とする。【構成】距離測定対象のパターンの対向するエッジをそれぞれ含むそれぞれの部分走査領域を設定する設定手段と、部分走査領域に電子ビームを走査し発生する電子を検出して部分走査画像を取得する画像取得手段と、取得されたそれぞれの部分走査画像においてエッジ抽出をそれぞれ行い、それぞれのエッジ位置情報から前記パターンの互いに対向するエッジの距離あるいはエッジで囲まれた面積を求める手段とを備える。【選択図】 図１ |
