| 摘要 |
금속증착필름의 진공증착장치가 개시된다. 본 발명의 진공증착장치는 베이스 필름을 공급하는 권출롤러와, 상기 권출롤러에서 공급되는 필름이 냉각드럼에 밀착되어 회전할 때 알루미늄증착으로 활동전극을 형성하는 제1증착유닛과, 상기 권출롤러와 상기 냉각드럼사이에 개재한 플라즈마전처리부와, 상기 제1증착유닛에 이웃하여 알루미늄이 증착된 필름상에 Zn증착으로 강화전극을 형성하는 제2증착유닛, 및 알루미늄과 Zn이 증착된 필름을 감는 권취롤러를 포함하고, 상기 제2증착유닛은 아연노즐에 금속노즐핀이 삽설되게 구성하고, 상기 금속노즐핀을 통하여 Zn이 필름상에 증착되게 구성함으로써, 활성전극(Active Area)으로의 Zn유입을 방지할 수 있는 효과가 있다. |
