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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung (100a, 200a, 600) Folgendes aufweisen: einen Transportbereich (101), in dem die Transportanordnung (100a, 200a, 600) zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportrichtung eingerichtet ist; eine endlos umlaufende Führungsstruktur (102), welche einen geschlossenen Bewegungspfad (102p) definiert, entlang dessen eine Vielzahl Substratauflagen (104) geführt ist; die Vielzahl Substratauflagen (104), von denen jeweils einander benachbarte Substratauflagen (104) in einem Abstand voneinander geführt sind, so dass zwischen diesen ein Spalt zum Aufnehmen eines Substrats gebildet ist, und von denen jede Substratauflage eine räumliche Orientierung aufweist, die in einem Winkel zu dem Bewegungspfad (102p) ausgerichtet ist, zum Halten eines Substrats in der räumlichen Orientierung; wobei die Führungsstruktur (102) derart relativ zu dem Transportbereich (101) angeordnet ist, dass der Bewegungspfad (102p) durch den Transportbereich (101) hindurch verläuft und innerhalb des Transportbereichs (101) in einem Winkel zu der Transportrichtung verläuft zum Übergeben von Substraten zwischen dem Transportbereich (101) und jeweils durch diesen hindurch bewegten Substratauflagen (104). |
