摘要 |
本発明は、電磁波を放射することにより電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置において、複数の電源、複雑なシステム等を必要とせず、必要な電力量を低減し、プラズマの発生、拡大及び維持を効率よく行えるプラズマ生成装置の供給を課題とする。本発明は、電磁波を発振する電磁波発振器、及び上記電磁波発振器を制御する制御装置を備えるプラズマ生成装置であって、上記電磁波発振器から発振される電磁波を共振させて高電圧を発生させる昇圧回路と、上記昇圧回路により発生した高電圧を放電させる放電電極とを備えることを特徴とする。 |