レーザビームを成形するための装置

摘要

レーザビーム（１０ａ，１０ｃ）を形成するための装置であって、入射面（２）および出射面（３）を有する構成要素（１）と、入射面（２）上の第１レンズアレイ（４）であって、Ｘ方向に互いに相並んで配設された複数のレンズ（５ａ，５ｃ，５ｅ）を含む第１レンズアレイ（４）と、出射面（３）上の第２レンズアレイ（６）であって、Ｙ方向に互いに相並んで配設された複数のレンズ（７ａ，７ｃ，７ｅ）を含む第２レンズアレイ（６）と、を含み、第１レンズアレイ（４）のレンズ（５ａ，５ｃ，５ｅ）のうちの第１レンズによって、レーザビーム（１０ａ，１０ｃ）が、Ｘ方向およびＹ方向に関して、第１レンズアレイ（４）のレンズ（５ａ，５ｃ，５ｅ）のうちの第２レンズによる偏向とは異なる角度で偏向され、および／または、第２レンズアレイ（６）のレンズ（７ａ，７ｃ，７ｅ）のうちの第１レンズによって、レーザビーム（１０ａ，１０ｃ）が、Ｘ方向およびＹ方向に関して、第２レンズアレイ（６）のレンズ（７ａ，７ｃ，７ｅ）のうちの第２レンズによる偏向とは異なる角度で偏向される。