ガス圧力コントローラ

摘要

ガス入口（４）及びガス出口（６）をもち内部流路を有する絶縁性基板（２）と、前記絶縁性基板（２）の表面又は裏面に直接装着され前記内部流路に通じるポートを介して前記内部流路に接続されたＭＥＭＳバルブ素子（１４）を含むバルブ機構と、前記絶縁性基板（２）の表面又は裏面に直接装着され前記内部流路に通じるポートを介して前記内部流路に接続されたＭＥＭＳ圧力センサ素子（１６）を含む圧力センサ部と、前記圧力センサ部の検出信号に基づいて前記バルブ機構をフィードバック制御する制御部（２２）と、を備えている。