| 摘要 |
【課題】レーザアニール中に非アニール面の温度を推測することが可能なレーザアニール装置を提供する。【解決手段】レーザ光源から出力されたパルスレーザビームが入射する位置にアニール対象物が保持される。赤外線検出器が、アニール対象物からの熱放射光を検出する。アニール対象物から赤外線検出器までの熱放射光の経路に遮蔽機構が配置されている。遮蔽機構は、熱放射光を透過させる開状態と熱放射光を遮光する閉状態とのいずれかの状態を取る。パルスレーザビームの各レーザパルスが立ち下がった後に、遮蔽機構が閉状態から開状態に切り替えられ、次のレーザパルスの立ち上がりまでに、遮蔽機構が開状態から閉状態に戻される。【選択図】図１ |
