| 摘要 |
【課題】アクチュエータの周波数特性の測定時間を短縮させて、当該アクチュエータの特性のバラツキをキャンセルする。【解決手段】アクチュエータ、および入力信号に応じてアクチュエータの駆動量をフィードバック制御する制御部を備える駆動装置を検査する検査装置であって、基準周波数の周期信号を入力信号として駆動装置に供給する信号供給部と、制御部からアクチュエータへの制御信号、およびアクチュエータから制御部への駆動量のフィードバック信号の少なくとも一方の信号を対象信号として取得する取得部と、対象信号を検査する検査部と、を備える検査装置、検査方法、および検査プログラムを提供する。【選択図】図１ |
