パターンを有する基板の製造方法及びフッ酸エッチング用樹脂組成物

摘要

（Ａ）成分としてポリブタジエンポリオール、水添ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール及び水添ポリイソプレンポリオールから選ばれるポリオール（ａ１）と架橋剤（ａ２）とを反応させて得られる樹脂を含む組成物を基板上に塗布してレジスト膜を形成する工程と、当該レジスト膜を形成した基板をエッチング加工してパターニングする工程とを含むことを特徴とするエッチングにより形成されたパターンを有する基板の製造方法。