| 摘要 |
【課題】受熱のための部材とダイアフラムとの間にカーボンが流入することを抑制する。【解決手段】圧力センサは、筐体と、圧力に応じて撓むダイアフラムと、圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、ダイアフラムの先端側に配置されダイアフラムに直接的または間接的に接続された、熱を受ける受熱部と、を備える。受熱部は、板部と、板部の縁から先端側に突出する側壁部と、を備える。側壁部には、板部の縁に沿って並ぶ複数の貫通孔が形成されている。複数の貫通孔の軸線に平行な方向の長さの最大値は、０．３ｍｍ以上である。軸線に垂直、かつ、複数の貫通孔を通らない側壁部の断面において、側壁部の外周長を、外周長Ｃ１とし、軸線に垂直、かつ、複数の貫通孔を通る側壁部の断面において、側壁部の外周面に対応する部分の長さの合計を、壁長Ｃ２とする場合に、（Ｃ２／Ｃ１）≦０．６が満たされる。【選択図】 図１ |
