| 摘要 |
【課題】クラックや割れを抑制する。【解決手段】本実施の形態の窒化ガリウム単結晶４０の製造方法は、反応容器５２内に保持されたアルカリ金属と１３族金属を含む混合融液２４中に、窒素を溶解させ、混合融液２４中に配置された種結晶３０に窒化ガリウム結晶３２を成長させる。本実施の形態の窒化ガリウム単結晶４０の製造方法は、第１の結晶成長工程と、第２の結晶成長工程と、を含む。第１の結晶成長工程は、第１の工程または第２の工程を行い、種結晶３０に窒化ガリウム結晶３２による第１の層３４を形成する。第２の結晶成長工程は、第３の工程または第４の工程を行い、種結晶３０上に形成された第１の層３４上に第２の層３６を形成する。【選択図】図１ |
