| 摘要 |
【課題】排気管に詰まりが発生したことを検出することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】実施形態の一態様に係る基板処理装置は、チャンバと、第１測定部と、排気管と、調整弁と、開度検出部と、弁制御部と、詰まり検出部とを備える。チャンバは、処理流体を用いて処理される基板を収容する。第１測定部は、チャンバの内圧を測定する。排気管は、チャンバからの排気が流れる。調整弁は、排気管の排気量を調整する。開度検出部は、調整弁の弁開度を検出する。弁制御部は、第１測定部の測定結果に基づいて内圧を規定範囲内に保つように調整弁の弁開度を制御する。詰まり検出部は、開度検出部によって検出された弁開度に基づいて排気管の詰まりを検出する。【選択図】図４ |
