| 摘要 |
【課題】本発明は、リーク電流を低減し、面内均一性及び再現性よくパッド形成が可能になり、歩留まり向上に寄与するパッド構造を有する半導体光変調器及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明は導波路型の半導体光変調器であって、パッド構造は、シグナルパッド部と、シグナルパッド部を有機膜を介して挟み込むようにシグナルパッド部の両側面側に設けられたグランドパッド部とを含み、シグナルパッド部は第１のシグナルパッド電極と、第１のパスメタル上に底面と両側面とを覆われるように第２のシグナルパッド電極とを含み、グランドパッド部は、第１のグランドパッド電極と、第２のパスメタルにより底面と有機膜側の側面とを覆うように第２のグランドパッド電極とを含み、基板において有機膜形成表面とコンタクト層における有機膜側の側面に絶縁膜が形成され、シグナル及びグランドパッド部は平坦化される。【選択図】図３ |
