| 摘要 |
【課題】振動が大きい環境下であっても、調節弁の安定した制御が可能なポジショナを提供する。【解決手段】本発明に係るポジショナ１は、調節弁の弁軸の変位量を検出し一対の検出信号を出力する変位量検出器１１と、一対の検出信号を伝搬させる多層基板１５と、多層基板を介して入力された一対の検出信号に基づいて調節弁の弁開度を制御するための制御信号を生成する電子回路１２が形成された回路基板と、少なくとも多層基板と回路基板とを収容する筐体１０とを有し、多層基板は、第１配線パターンが形成された第１配線層Ｌ１と、上記一対の信号配線が形成され、第１配線層上に層間絶縁膜を介して配置された第２配線層Ｌ２とを有し、第１配線パターンは、筐体と電気的に接続され、第２配線層に形成された一対の信号配線と平面視において重なりを有して形成されていることを特徴とする。【選択図】図１ |
