| 摘要 |
【課題】大型化した場合でも軽量化を図ることができ、且つ高精細な蒸着パターンの形成が可能な蒸着マスクや、この蒸着マスクを簡便に製造することができる蒸着マスク準備体、及び高精細な有機半導体素子を製造することができる有機半導体素子の製造方法を提供すること。【解決手段】蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が設けられた樹脂マスク２０の一方の面上に、開口部２０と重なるスリット１５が設けられた金属マスク１５が積層されてなる蒸着マスク１００であって、樹脂マスク２０は、スリット１５と厚み方向で重なる少なくとも一部において、その表面に凹部３５を有しているか、又は当該樹脂マスク２０を厚み方向に貫通し開口部２５とは異なる貫通孔３６を有しており、樹脂マスク２０が有する凹部３５又は貫通孔３６の内部に、磁性部材３０を位置させることにより上記課題を解決している。【選択図】図１ |
