| 摘要 |
【課題】低コストでレシプロ型ポンプに発生する摩擦熱を抑制し、気相（ガス）の発生を抑制する。【解決手段】本発明の幾つかの実施形態に係る極低温液体用ポンプは、内部に圧縮室が形成されるシリンダと、前記シリンダの内部で往復動し前記圧縮室の容積を変更可能なピストンと、前記ピストンの動きに応じて前記圧縮室に極低温液体を吸入するための吸入弁と、前記ピストンの動きに応じて圧縮室から圧縮された極低温液体を排出するための排出弁と、前記ピストンのピストンロッドの一端に設けられたカム受け部に接して該カム受け部に対して前記圧縮室を圧縮する方向に押圧力を付与すると共に、中心面に対し常に対称の位相で互いに逆回転する少なくとも一対のカム及び該一対のカムの駆動部と、を備え、前記カム受け部及び前記一対のカムの少なくとも一方は磁性体で構成され、前記カム受け部に対して前記圧縮室を拡張する方向に磁気力を付与するための磁石をさらに備える。【選択図】図１ |
