摘要 |
【課題】構成を複雑化させることなく正確な液滴位置の測定を可能にすること。【解決手段】液滴検出装置100は、圧電基板101上に励振電極102が設けられ、圧電基板101上で液滴を搬送する弾性波デバイス1と、励振電極102に交流電気信号を印加する電源回路部3,5,7と、励振電極102における交流電気信号の反射信号を測定する信号波形測定器11と、信号波形測定器11によって測定された反射信号と交流電気信号との時間差を検出し、時間差を基に圧電基板101上の液滴の位置を算出するデータ処理部13とを備え、データ処理部13は、反射信号の伝搬経路を、液滴と圧電基板101の界面の反対側の表面と、液滴と圧電基板101の界面とを経由して液滴を循環する経路に設定した演算式を用いることにより、時間差から位置を算出する。【選択図】図1 |