研磨パッド用の材料精製システム

摘要

【課題】 本発明は、均質性の高い材料を精製する研磨パッド用の材料精製システムを提供することを課題とする。【解決手段】 本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムは、投入された固形の材料を溶融する溶融装置と、該溶融装置で溶融した材料を均質化する均質化装置とを備え、該均質化装置は、均質化可能な材料の処理量が前記溶融装置における溶融可能な材料の処理量よりも多く構成され、且つ前記溶融装置で溶融した材料を撹拌して均質化するように構成される。【選択図】図１