发明名称 |
一种制备CIGS太阳能电池的方法 |
摘要 |
本发明涉及CIGS太阳能电池,具体说是一种制备CIGS太阳能电池的方法,其包括在基板上溅镀钼电极层、将具有钼电极层的基板置于真空室内,并正向推动基板,在基板上溅镀CIGS吸收层、反向推动基板,在吸收层上溅镀CdS缓冲层、并在缓冲层上镀上ZnO导电氧化层、在导电氧化层上镀上AZO层、切割封装。本发明通过基板的正向移动,溅镀吸收层;基板反向移动,溅镀缓冲层,不仅提高了生产效率,而且节省了空间,降低了生产成本。本发明有效控制了CIGS吸收层的溅镀,并精确控制了各层的厚度,生产的产品质量好。 |
申请公布号 |
CN103681975B |
申请公布日期 |
2017.01.25 |
申请号 |
CN201310740599.8 |
申请日期 |
2013.12.27 |
申请人 |
柳州百韧特先进材料有限公司 |
发明人 |
陈进中;莫经耀;吴伯增;林东东;甘振英 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
广州凯东知识产权代理有限公司 44259 |
代理人 |
姚迎新 |
主权项 |
一种制备CIGS太阳能电池的方法,其包括以下步骤:(1)在基板上溅镀钼电极层;(2)将具有钼电极层的基板置于真空室内,并正向推动基板,在基板上溅镀CIGS吸收层;(3)反向推动基板,在吸收层上溅镀CdS缓冲层;(4)将具有缓冲层的基板从真空室内取出,并在缓冲层上镀上ZnO导电氧化层;(5)在导电氧化层上镀上AZO层;(6)切割封装;在所述真空室内位于基板上侧设置有吸收层靶材、缓冲层靶材和与靶材对应的溅射源,溅射源通过分别轰击两靶材,在基板上溅镀吸收层和缓冲层;所述吸收层靶材和缓冲层靶材设置于同一个旋转体上,旋转体内设有溅射源,通过转动旋转体切换吸收层靶材和缓冲层靶材;所述基板采用碱性钠钙玻璃;所述钼电极层表面呈鱼鳞状,厚度为0.5‑‑1.5μm;所述吸收层靶材由CIGS粉末压制而成;所述吸收层的厚度为1.5‑‑2.0μm,缓冲层的厚度为0.05μm;所述导电氧化层采用磁控溅镀法制备,其厚度为0.05μm; AZO层厚度为0.5‑‑1.5μm。 |
地址 |
545006 广西壮族自治区柳州市高新一路15号标准车间D栋东面5楼 |