一种固结磨料化学机械抛光钽的加工方法

摘要

一种固结磨料化学机械抛光钽（Ta）的加工方法，其特征是包括：采用氧化铈固结磨料抛光垫对钽或钽膜进行抛光加工，加工过程中控制抛光压力在10~100 kpa之间，抛光盘的转速控制在50~150 rpm之间，抛光液为不含磨料的去离子水、表面活性剂、络合剂和pH调节剂组成，抛光液的pH值调节在8~11之间，抛光液的温度控制在20~30℃范围内，抛光液流速在80~150 ml/min之间，可获得纳米级精度的表面粗糙度，表面质量优。本发明提高了钽的加工效率和表面质量，成品合格率高，不会造成环境污染，清洗容易，成本低。

主权项

一种固结磨料化学机械抛光钽的加工方法，采用固结磨料抛光垫对钽进行抛光加工，加工过程中控制抛光压力在10~100 kpa之间，抛光垫的转速控制在50~150rpm之间，抛光液的pH值调节在8~11之间，抛光液的温度控制在20~30℃范围内，抛光液流速在80~150 ml/min之间，直至表面质量满足设定要求，其特征是：所述的抛光液为不含磨料的去离子水、表面活性剂、络合剂和pH调节剂组成，表面活性剂的体积分数为0.1%‑1.0%，络合剂的质量分数为0.5%‑5.0%，余量为去离子水和pH调节剂。