发明名称 一种3D集成电路的TSV自动插入方法
摘要 本发明涉及一种3D集成电路的TSV自动插入方法,属于电路设计领域;首先建立3D集成电路版图的直角坐标系,对已经初步定位的TSV和标准单元进行坐标和尺寸的提取,并按照纵坐标进行分类;然后分别对每一行的标准单元进行移动并插入TSV;在必要的情况下,需要在移动标准单元的同时移动TSV,来保证标准单元移动后TSV与同一行标准单元的相对位置的改变比移动之前尽量小;第一种是将3D集成电路每一层芯片键合起来以后再制作TSV,这要求每层TSV位置都一样,当TSV位置初步确定后,插入TSV时不能移动TSV。第二种是在每层芯片器件制作前制作TSV,此时TSV的位置可以移动,就可以使用移动TSV的TSV插入方法。
申请公布号 CN103870652B 申请公布日期 2017.01.25
申请号 CN201410111904.1 申请日期 2014.03.24
申请人 北京工业大学 发明人 侯立刚;赵未;汪金辉;彭晓宏;耿淑琴
分类号 G06F17/50(2006.01)I 主分类号 G06F17/50(2006.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人 沈波
主权项 一种3D集成电路的TSV自动插入方法,其特征在于:实现该方法的3D集成电路芯片包括via‑first TSV(1)、via‑last TSV(2)、标准单元(3)、金属互连线(4)、金属层(5)、衬底(6)、上层芯片(7)和下层芯片(8);3D集成电路是一种三维芯片结构,3D集成电路的每一层都是二维芯片,并由TSV在竖直方向上连接起来;上层芯片(7)和下层芯片(8)代表3D集成电路中两层的大体结构;芯片中的标准单元(3)是集成电路实现对信号处理和传输的基本组成部分,并通过金属互连线(4)实现标准单元(3)之间的信号传输;芯片中的上层芯片(7)和下层芯片(8)相连接需要通过via‑first TSV(1)或via‑last TSV(2),这两种TSV都是穿透芯片的硅通孔,via‑first TSV只穿透芯片的器件层和金属层的最顶层和最底层,via‑last TSV(2)穿透全部芯片;该3D集成电路的TSV自动插入方法包括以下步骤:S1利用输入单元建立3D集成电路版图直角坐标系A,在经过初步定位的TSV版图中建立直角坐标系A’,坐标系A和A’沿版图边缘建立;且两坐标系原点重合,其中横轴沿版图的水平方向建立,纵轴沿版图的垂直方向建立;将坐标系A’及其中的TSV投影到坐标系A上,便于后面对标准单元和TSV的分类、排序和移动;输入单元包括标准单元(3),还包括TSV所在的标准单元版图的直角坐标系(11),也包括TSV、标准单元的坐标及尺寸;其功能用于建立直角坐标系,将TSV和标准单元按照纵坐标分类、按横坐标沿正方向的顺序排序;S2通过输入单元从库中提取标准单元和TSV的坐标和尺寸信息,以S1中建立的直角坐标系A和A’为准,按照标准单元在纵轴上的坐标划分出不同的行,将标准单元和TSV按照这些行进行分类;对于每一行,以标准单元沿横坐标轴正方向排序,同时对TSV按照TSV的横坐标轴正方向排序;在不移动TSV的情况下,在任意一行插入一个TSV的过程,执行步骤S3;此时插入的TSV都是via‑last TSV(2);标准单元移动单元包括via‑first TSV(1)、via‑last TSV(2)、标准单元(3)和标准单元版图的直角坐标系(11),其功能用于移动标准单元为TSV留出足够的空间;S3对3D集成电路的第一层的第一行进行操作,首先沿横坐标轴正方向逐个扫描标准单元,当发现第一个与TSV重合的标准单元时,将该标准单元及其右侧所有标准单元同时右移,使该标准单元左侧边界与该TSV右侧边界重合;之后从该标准单元开始继续从左向右扫描标准单元,直到找到第一个与从左向右第二个TSV重叠的标准单元,将所述第一个与从左向右第二个TSV重叠的标准单元及其右侧所有标准单元右移,使所述第一个与从左向右第二个TSV重叠的标准单元左侧边界与所述从左向右第二个TSV右侧边界重合;依次类推,直到这一行的所有TSV和标准单元都被处理完,再按照上述操作处理其它行,直到整个层都被处理完成;在移动TSV的情况下,在某一行连续插入两个TSV的过程,执行步骤S4;TSV移动单元包括via‑first TSV(1)、标准单元(3)和直角坐标系(11),其功能用于在标准单元移动过程中移动TSV,达到缩小TSV与同一行标准单元相对位置变化和节省面积的目的;S4对3D集成电路的第一层的第一行进行操作,首先从左向右逐个扫描标准单元,当发现第一个与从左向右第一个TSV重合的标准单元时,不移动与该TSV发生重叠的第一个标准单元,而是利用标准单元移动单元将该TSV右移,使该TSV的左侧边界与该标准单元的右侧边界重合;之后利用标准单元移动单元和TSV移动单元,右移该标准单元右侧相邻的标准单元以及其右侧的所有标准单元和TSV,使其与该TSV不发生重叠;然后继续向右扫描标准单元,直到发现下一个与TSV重合的标准单元,按照上述操作进行处理;依次类推,直到这一行的所有TSV和标准单元都被处理完,再按照上述操作处理其它行,直到整个层都被处理完成;TSV插入单元包括via‑first TSV(1)、via‑last TSV(2)、标准单元(3)和直角坐标系(11),其功能用于实现在修改标准单元和TSV位置后,对TSV的插入;S5利用TSV插入单元将修改位置后的标准单元和TSV的坐标和尺寸提取出来,分别输出到各自层中的同一个坐标文件和尺寸文件中,实现TSV的插入;S6将3D集成电路其它的层进行上述S1~S5的操作,完成整个3D集成电路的TSV插入;所述方法首先对3D集成电路的第一层建立标准单元版图的直角坐标系(11)、TSV版图的直角坐标系(12);将TSV版图的直角坐标系(12)投影到标准单元版图的直角坐标系(11)上,实现将初步定位的TSV投影到标准单元(3)的版图中;然后分两种情况,对标准单元(3)的位置进行修改,如有必要也修改TSV的位置,直到对于所有TSV都有足够的空间插入到标准单元(3)的版图中;重复上述操作处理其它层;最后将修改位置后的TSV和标准单元(3)的坐标和尺寸提取出来,输出到每一层各自的坐标和尺寸文件中,实现TSV的自动插入,完成整个3D集成电路的布局过程。
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