一种侧向耦合面发射激光器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种侧向耦合面发射激光器及其制造方法，其包括制作在同一外延片上的多个激光器单管，每个激光器单管包括自上而下依次分布的上电极、衬底、中间层、二阶光栅层和下电极，中间层包括自上而下依次设置的缓冲层、过渡层、n盖层、n包层、有源层、p包层和p盖层，其中，二阶光栅层设置在p盖层上远离有源层的一侧，二阶光栅层的光栅脊为曲线，且相邻两个激光器单管之间的光栅脊一一对应连接。本发明不仅扩大了腔内激光的谐振范围，而且相邻两个激光器单管之间的光栅脊一一对应连接，其实现了相邻激光器单管之间的光子互注入，以及提升了激光增益介质利用率的目的，从而有利于实现激光器的高功率、高光束质量的工作输出。

主权项

一种侧向耦合面发射激光器，其特征在于，包括制作在同一外延片上的多个激光器单管，每个所述激光器单管包括自上而下依次分布的上电极、衬底、中间层、二阶光栅层和下电极，所述中间层包括自上而下依次设置的缓冲层、过渡层、n盖层、n包层、有源层、p包层和p盖层，其中，所述二阶光栅层设置在所述p盖层上远离所述有源层的一侧，所述二阶光栅层的光栅脊为曲线，且相邻两个所述激光器单管之间的所述光栅脊一一对应连接。