| 摘要 |
본 발명의 실시예에 따른 도포 균일성 검사 장치는, 가시광선을 제공하는 가시광선 광원; 근적외선을 제공하는 근적외선 광원; 가시광선 광원으로부터의 가시광선과, 근적외선 광원으로부터의 근적외선의 적어도 일부분을 중첩시켜 중첩광으로 변환시키는 제1 이색 거울; 중첩광을 빔스플리팅하여 일부는 레퍼런스단으로 보내고 다른 일부는 측정 대상물이 놓인 샘플단으로 보내는 빔스플리터; 레퍼런스단 및 샘플단으로부터 반사된 후 빔스플리터를 통해 전달되는 반사광을 다시 가시광선 및 근적외선 파장의 광신호로 나누는 제2 이색 거울; 제2 이색 거울을 통해 전달되는 가시광선 파장의 광신호를 측정하여 측정 대상물의 표면의 이미지를 획득하는 표면 측정부; 및 제2 이색 거울을 통해 전달되는 근적외선 파장의 광신호를 측정하여 측정 대상물의 단층 이미지를 획득하는 단층 측정부;를 포함할 수 있다. |
