半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法

摘要

本发明提供了一种半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、信号电极、屏蔽电极、微型半球体谐振子、中心固定支撑柱，微型半球体谐振子与单晶硅基底通过中心固定支撑柱相连；信号电极和屏蔽电极设置于单晶硅基底的上表面，两者相互交错均匀地分布在微型半球体谐振子的周围；八个信号电极与微型半球体谐振子之间的距离、八个屏蔽电极与微型半球体谐振子之间的距离分别相同。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；具有更大的有效振动质量，可增强柯氏效应的检测效果；具有更高的工作模态振动频率，可减小环境噪声和机械噪声等；设置了屏蔽电极，可减少信号电极之间的相互串扰，减小检测过程中寄生电容的影响。

主权项

一种半球体固态波动微陀螺仪，其特征在于，包括：一个单晶硅基底；八个均匀分布式信号电极；八个均匀分布式屏蔽电极；一个微型半球体谐振子；一个中心固定支撑柱；其中：微型半球体谐振子与单晶硅基底通过中心固定支撑柱相连；信号电极和屏蔽电极均设置于单晶硅基底的上表面，且信号电极与屏蔽电极相互交错均匀地分布在微型半球体谐振子的周围；八个信号电极与微型半球体谐振子之间的距离相同；八个屏蔽电极与微型半球体谐振子之间的距离也相同。