微流量热式质量流量控制器的校准装置及其校准方法

摘要

本发明涉及一种微流量热式质量流量控制器的校准装置及其校准方法。其中，微流量热式质量流量控制器的校准装置包括参考室和定容室，以及连接在定容室和参考室之间的第一隔离阀和压差计。采用本发明的微流量热式质量流量控制器的校准装置及其校准方法，可以校准微流量气体质量流量，并解决高压力基础上小压力变化难以精确测量的问题。

主权项

一种微流量热式质量流量控制器的校准装置，其特征在于：包括参考室和定容室，以及连接在定容室和参考室之间的第一隔离阀和压差计；所述压差计用于测量所述定容室和参考室之间的气压差；所述第一隔离阀用于在所述定容室和所述参考室之间的气压差为零时关闭，使得所述定容室和所述参考室之间气体隔离；所述定容室还与被测微流量热式质量流量控制器连接，用于在所述第一隔离阀关闭时，接收所述被测微流量热式质量流量控制器输出的气体流量，并根据所述气体流量和累计时间对所述被测微流量热式质量流量控制器进行校准。