可溶性分离阳极电沉积制备软磁合金连续薄膜的装置及方法

摘要

本发明提供了可溶性分离阳极电沉积制备软磁合金连续薄膜的装置及方法。本发明以不锈钢带、钛带表面镀氮化钛的环形薄带作阴极，使用可溶性单金属阳极分离并联排列，通过调节支路阳极的电流、电压，使支路阳极按一定比例溶解，达到阴极沉积量与阳极溶解量平衡，保持镀液的金属离子含量稳定，本发明避免了外加镀液补充金属离子装置，有效的解决了连续生产中镀液金属离子稳定性和再生性的问题，保持了连续合金镀层中金属含量的稳定性，适合连续生产软磁合金薄膜。

主权项

一种可溶性分离阳极电沉积制备软磁合金连续薄膜的装置，包括容纳电镀液的电镀槽；可以循环转动的环形金属阴极；可溶性阳极；电源装置；电机传动装置；循环装置、过滤装置；温度控制装置；剥离装置；清洗装置；钝化装置；烘干装置；张力控制调节装置和收卷装置，其特征在于电沉积过程中使用的阴极是表面镀氮化钛，背面与电绝缘高分子薄膜贴合形成绝缘层的不锈钢带、钛带形成的环形薄带；电沉积过程中，阳极材料是纯铁、纯镍、纯钴中的任两种，不同金属阳极构成分离阳极，交替排列，每种阳极形成一个独立阳极，不同金属阳极又并联构成综合阳极；分离阳极通过单独电源或者多电源控制，不同支路阳极的电流、电压可调。