一套用MOCVD尾气制氢的装置

摘要

本发明公开一套用MOCVD尾气制氢的装置，该制氢装置包含：用于将含氢的尾气分解为氢氮混合气的分解炉，用于除去氢氮混合气中杂质同时含有可再生吸附剂的变温吸附设备，用于将除杂后的氢氮混合气中的氢气浓缩提纯同时产生高压逆放气、低压逆放气的变压吸附设备，和用于将未除杂或除杂的氢氮混合气进行加压的氢气压缩机；分解炉、变温吸附设备和变压吸附设备依次连接；氢气压缩机设于分解炉与变温吸附设备之间或设于变温吸附设备与变压吸附设备之间。该套装置既可解决MOCVD尾气排放造成环境污染问题，又可为MOCVD设备提供原料氢气，而且所得到的氢气成本低于常规用电解水制氢的成本，适合LED生产厂家使用。

主权项

一套用MOCVD尾气制氢的装置，其特征在于：所述制氢装置包含：用于将含氢的尾气分解为氢氮混合气的分解炉(1)，用于除去氢氮混合气中杂质、同时含有可再生吸附剂的变温吸附设备(4)，用于将除杂后的氢氮混合气中的氢气浓缩提纯同时产生高压逆放气、低压逆放气的变压吸附设备(5)，和用于将未除杂或除杂的氢氮混合气进行加压的氢气压缩机(3)；所述分解炉(1)、变温吸附设备(4)和变压吸附设备(5)依次连接；所述氢气压缩机(3)设于分解炉(1)与变温吸附设备(4)之间或设于变温吸附设备(4)与变压吸附设备(5)之间。