一种类金刚石涂层轴承及离子溅射镀层机和轴承加工方法

摘要

本发明涉及轴承加工领域，具体而言，涉及一种类金刚石涂层轴承及离子溅射镀层机和轴承加工方法。类金刚石涂层轴承包括轴承本体，轴承本体包括轴承内圈和轴承外圈，轴承内圈和轴承外圈之间设置有滚动体，轴承内圈与滚动体接触面、轴承外圈与滚动体接触面都设置有类金刚石涂层。类金刚石涂层轴承的加工方法包括放靶材、预清洗、离子溅射沉积、成涂层四个步骤。本发明提供了一种类金刚石轴承及其加工方法，通过在轴承的表面镀有类金刚石的涂层，增强了轴承内圈和轴承外圈接触面的表面硬度和耐磨性，使轴承的寿命得到了显著的提高。

主权项

一种用于加工类金刚石涂层轴承的离子溅射镀层机，其特征在于，包括真空室、离子源、真空泵、加热器、离子中和器、移动镀膜靶和旋转基板支架；所述移动镀膜靶、所述旋转基板支架相对设置且均位于所述真空室内，所述旋转基板支架驱动待镀层轴承旋转运动且设置有用于固定所述待镀层轴承的镀膜夹具；所述移动镀膜靶包括用于驱动靶材相对所述旋转基板之间作往复运动的直线机构。