一种高温电涡流传感器及制作方法

摘要

本发明属于传感器领域，涉及一种高温电涡流传感器及制作方法。本发明采用深紫外光刻技术、预埋电极技术、磁控溅射技术、二次光刻技术和微细电铸技术，实现了耐高温多匝扁平银线圈与陶瓷基体的紧密结合。本传感器易于批量加工，无焊点，可靠性高，可在高温环境下正常工作。克服了传统漆包线绕制电涡流传感器高温下无法工作的问题，克服了某些高温电涡流传感器应用范围小，可靠性差的缺点。本发明解决了高温环境下电涡流传感器的工作问题，对高温检测发挥了重要作用。

主权项

一种高温电涡流传感器，其特征在于：包括引出线(1)、陶瓷基体(2)、溅射层(3)、银线圈(4)，所述引出线(1)预先埋于陶瓷基体(2)内部与溅射层(3)连通，溅射层(3)与陶瓷基体(2)紧密连接，并为银线圈(4)的微细电铸提供导电层，银线圈(4)为单层的扁平多匝银线圈用于产生并感应磁场变化进行位移测量。