| 摘要 |
【課題】ワーク乾燥時における洗浄室の到達圧力が低い真空洗浄装置および真空洗浄方法を提供することを課題とする。また、エゼクタポンプの作動流体に要するコストを削減可能な真空洗浄装置および真空洗浄方法を提供することを課題とする。【解決手段】真空洗浄装置１は、洗浄対象物が付着したワークＷを洗浄液Ａにより洗浄し、乾燥させる。真空洗浄装置１は、ワークＷが配置される洗浄室２０と、作動流体の蒸気を発生させる蒸気発生器５と、作動流体の蒸気を用いて、洗浄室２０を減圧し洗浄液Ａを蒸発させるエゼクタポンプ４と、エゼクタポンプ４の背圧を下げる真空ポンプ６と、洗浄室２０と真空ポンプ６との間に配置される凝縮器７、４１と、を備える。作動流体は洗浄液Ａである。凝縮器７、４１は、洗浄液Ａの蒸気を凝縮して洗浄液Ａを生成する。【選択図】図１ |
