一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪

摘要

一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、一个接地电极、一个射频电源，其特征在于：该喷枪壳体为金属板，四周密封连接，上端为进气端，下端为喷气口，两个射频电极被壳体围在喷枪内部，介质阻挡层包裹着两个射频电极，喷枪金属壳体作为接地电极保持接地，两个射频电极之间有一条缝隙，工作气体采用氩气和氧气的混合气体，工作气体从两个射频电极之间的缝隙喷出，常压下，当射频电极与射频电源连接时，在射频电极的下面会产生大面积的辉光等离子体，等离子体中的自由基束流与被清洗的物体表面进行反应，由于大部分等离子体在介质阻挡层下面产生，降低了金属污染。

主权项

一种大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、一个接地电极、一个射频电源，其特征在于：该喷枪壳体为金属板，四周密封连接，上端为进气端，下端为喷气口，两个射频电极被壳体围在喷枪内部，介质阻挡层包裹着两个射频电极，喷枪金属壳体作为接地电极保持接地，两个射频电极之间有一条缝隙，工作气体采用氩气和氧气的混合气体，工作气体从两个射频电极之间的缝隙喷出，常压下，当射频电极与射频电源连接时，在射频电极的下面会产生大面积的辉光等离子体，等离子体中的自由基束流与被清洗的物体表面进行反应，降低了金属污染；包覆两个射频电极的介质阻挡层材料为石英，两个射频电极呈长方体结构，间距1mm；喷枪金属壳体与两个射频电极介质阻挡层之间无缝紧贴。