半球谐振式微机械陀螺仪及其加工工艺

摘要

本发明涉及一种半球谐振式微机械陀螺仪，其包括谐振层，谐振层包括半球球壳，半球球壳具有内凹的内表面及与内表面相对的外表面，半球球壳的顶点为其锚点，环绕半球球壳设置有多个硅球面电极，硅球面电极包括驱动电极、力平衡电极、信号检测电极、屏蔽电极，屏蔽电极将驱动电极、力平衡电极与信号检测电极分隔开，半球球壳与环绕其的多个硅球面电极形成多个电容；谐振层采用多晶硅或二氧化硅或氮化硅或金刚石材质。该半球谐振式微机械陀螺仪采用基于硅微细加工的工艺，其尺寸较小，生产成本较低，具有批量生产能力同时，其灵敏度不取决于其振幅，其驱动电压较低，可大大减小输出噪声，其精度可比现有的陀螺仪产品高。

主权项

一种半球谐振式微机械陀螺仪，其特征在于：其包括谐振层，所述的谐振层包括半球球壳、环绕所述的半球球壳设置的多个硅球面电极，所述的硅球面电极包括驱动电极、力平衡电极、信号检测电极、屏蔽电极，所述的屏蔽电极将所述的驱动电极、所述的力平衡电极与所述的信号检测电极分隔开，所述的屏蔽电极交汇于一点且该交汇点即为所述的半球球壳的锚点，所述的半球球壳与环绕其的多个所述的硅球面电极形成多个电容；所述的半球球壳采用多晶硅或二氧化硅或氮化硅或金刚石材质。