METHOD FOR FORMING ELECTRODE OF OPTICAL MODULATOR USING BACKSIDE ILLUMINATION

摘要

본 발명은 후면노광을 이용한 광변조기의 전극형성 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 정밀 포토레지스트패턴 공정과 후면노광 공정을 이용함으로써 광변조기에 적합한 두께와 성능을 보유할 수 있는 광변조기의 전극형성 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 두꺼운 포토레지스트패턴을 사용하지 않고, 정밀 포토레지스트패턴 공정과 후면노광 공정을 이용함으로써 광변조기에 적합한 두께와 성능을 보유하는 광변조기 전극을 제조할 수 있다.