一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

摘要

本发明公开了一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、冷却辊、收卷机构、阴极小室、纠偏装置和回转换靶装置，开卷机构和收卷机构处各设有一组纠偏装置；冷却辊、阴极小室和回转换靶装置处于同一轴线上；回转换靶装置包括机座、回转盘、回转机构、轴向伸缩机构、两个或两个以上的伸缩轴套、极靶座板和径向伸缩机构，当轴向伸缩机构收缩后，径向伸缩机构刚好位于一个伸缩轴套的下方；开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可快速更换阴极靶，并利用基材往复运动实现多层膜层的连续镀制，每层膜均能单独镀制，便于膜层参数的控制；设备结构紧凑。

主权项

一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空室（1）、依次设于真空室（1）内的开卷机构（2）、冷却辊（6）和收卷机构（7），以及设于冷却辊（6）下方的阴极小室（9），其特征在于：还包括纠偏装置（3）和设于阴极小室（9）下方的回转换靶装置（8），所述的开卷机构（2）和收卷机构（7）之间的基带经过换向辊（5）换向后包覆在冷却辊（6）上，所述的开卷机构（2）和收卷机构（7）处各设有一组纠偏装置（3）；所述的阴极小室（9）上下两面开口，所述的冷却辊（6）、阴极小室（9）和回转换靶装置（8）处于同一轴线上；所述的回转换靶装置（8）包括机座（801）、回转盘（804）、驱动回转盘（804）转动的回转机构、驱动回转盘（804）沿轴向伸缩的轴向伸缩机构（802）、安装于回转盘（804）上的两个以上的伸缩轴套（805）、安装于伸缩轴套（805）上的用于安装靶芯（10）的极靶座板（806）和安装于机座（801）上且位于阴极小室（9）正下方的径向伸缩机构（807），所述的回转盘（804）为设有内腔的桶状结构，所述的伸缩轴套（805）安装于回转盘（804）的侧壁上，当轴向伸缩机构（802）收缩后，所述的径向伸缩机构（807）刚好位于一个伸缩轴套（805）的下方，用于将极靶座板（806）向外顶出并嵌入阴极小室（9）内；所述的开卷机构（2）和收卷机构（7）带动基带实现往复运动。