一种SiO₂/TiO₂减反射膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种SiO₂/TiO₂减反射膜的制备方法，该方法先利用溶胶‑凝胶碱催化法和浸渍提拉法制备一层SiO₂低折射率减反射膜，再将薄膜浸入钛酸丁酯前驱液中，最后置于去离子水中水解，从而将TiO₂纳米材料直接引入SiO₂减反射膜中。本发明的制备方法工艺简单、可操作性强、反应速度快，制得的减反射膜是将TiO₂纳米材料直接引入SiO₂薄膜结构中，该减反射膜相比于现有的SiO₂/TiO₂减反射膜，其透光率高，具有良好的耐磨性，并且可实现折射率的连续可调。

主权项

一种SiO₂/TiO₂减反射膜的制备方法，其特征在于，具体操作步骤如下：步骤1，按一定摩尔比将无水乙醇、氨水、去离子水、正硅酸乙酯混合，搅拌均匀后静置7天，得到碱催化的SiO₂溶胶；其中，所述无水乙醇、氨水、去离子水、正硅酸乙酯的加入摩尔比为37.6∶0.17∶3.25∶1；所述SiO₂溶胶的质量百分浓度为3％；步骤2，将一定量的钛酸丁酯加入无水乙醇与甲苯的混合液中，将混合物料于密封环境下磁力搅拌0.5h至混合均匀，其中，混合物料中，所述钛酸丁酯的浓度为0.1mol/L；步骤3，在相对湿度环境＜50％的环境下，将经过预处理的基底浸入步骤1的SiO₂溶胶中，采用浸渍提拉法在基底上镀碱催化SiO₂膜，其中，提拉速度为80mm.min^‑1；提拉后将镀有SiO₂膜的基底静置5min，再将基底浸入步骤2的钛酸丁酯溶液中10min，将基底取出，依次对基底进行清洗、水解、吹干处理，最后再于550℃下热处理3h即可。