MEMS压电器件、能量采集系统以及便携式或移动型电子装置

摘要

本实用新型涉及MEMS压电器件、能量采集系统以及便携式或移动型电子装置。一种MEMS压电器件具有：半导体材料的单片式本体，其具有第一主表面和第二主表面，这两个表面平行于由第一水平轴和第二水平轴形成的水平面并且沿着竖直轴相对；布置在单片式本体内的壳腔体；在单片式本体的第一主表面处悬置在壳腔体上方的膜；布置在膜的第一表面上方的压电材料层；布置成与压电材料层接触的电极装置；以及耦合至膜的沿着竖直轴与第一表面相对的第二表面以响应于环境机械振动引起第二表面形变的检测质量。检测质量通过布置在中心位置中并且沿着竖直轴的方向在膜与检测质量之间的连接元件耦合至膜。

主权项

一种MEMS压电器件，包括：半导体材料的单片式本体，具有第一主表面和第二主表面，所述第一主表面和所述第二主表面平行于由第一水平轴和第二水平轴形成的水平面并且沿着竖直轴彼此相对；壳腔体，布置在所述单片式本体内；膜，在所述单片式本体的所述第一主表面处悬置在所述壳腔体上方；压电材料层，布置在所述膜的第一表面上方；电极装置，布置成与所述压电材料层接触；以及检测质量，耦合至所述膜的沿着所述竖直轴与所述第一表面相对的第二表面并且被设计成响应于机械振动引起所述第二表面的形变，其特征在于，所述检测质量通过连接元件耦合至所述膜，所述连接元件布置在中心位置中并且在所述竖直轴的方向上在所述膜与所述检测质量之间。