发明名称 |
电路板钻孔干法金属化设备 |
摘要 |
本实用新型公开了一种用于电路板钻孔干法金属化的镀膜设备,设备包括镀膜真空室、进料预抽室、出料预抽室、送料架、出料架、物料传送装置、双面对称镀铜靶阵列、双面对称镀铝靶阵列、反向偏压刻蚀区,磁控溅射镀膜区,射频等离子清洗,氮气冷却。本实用新型可以实现电路板钻孔金属化批量生产,可以实现板厚孔径比小于8的孔壁金属化,可以实现镀膜与基体的良好结合。 |
申请公布号 |
CN205912367U |
申请公布日期 |
2017.01.25 |
申请号 |
CN201620817013.2 |
申请日期 |
2016.07.29 |
申请人 |
合肥开泰机电科技有限公司 |
发明人 |
龚光福;方健灵 |
分类号 |
H05K3/42(2006.01)I |
主分类号 |
H05K3/42(2006.01)I |
代理机构 |
安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 |
代理人 |
余成俊 |
主权项 |
电路板钻孔干法金属化设备,其特征在于:包括镀膜真空室,镀膜真空室左、右端分别通过高真空阀连通预抽真空室,其中左端的预抽真空室作为进料预抽室,右端的预抽真空室作为出料预抽室;镀膜真空室内左端通过高阀开关实现与进料预抽室之间的物料传递,镀膜真空室内右端通过高阀开关实现与出料预抽室之间的物料传递;镀膜真空室内设有连接送料架、出料架的物料传送装置;镀膜真空室内从左至右依次设有刻蚀区、镀膜区;刻蚀区采用反向偏压等离子刻蚀工艺,双面对称刻蚀;镀膜区分为镀铜区和镀铝区,都是采用磁控溅射工艺,双面对称通道式镀膜。 |
地址 |
230601 安徽省合肥市经济技术开发区青龙潭路111号 |