一种实现电感耦合等离子体离子源工作在惰性气体环境的方法及装置

摘要

本公开提供了一种实现电感耦合等离子体离子源工作在惰性气体环境的方法及装置，其中该装置包括：安装在所述离子源与采样锥之间的屏蔽罩；以及设于所述离子源上并与所述屏蔽罩的内部连通的开口；其中，所述屏蔽罩与所述采样锥之间设有一定间隙，惰性气体通过所述开口流入所述屏蔽罩的内部并经所述间隙流出到所述屏蔽罩之外。

主权项

一种实现电感耦合等离子体离子源工作在惰性气体环境的装置，其特征在于，包括：安装在所述离子源(1)的腔体(8)与采样锥(2)之间的屏蔽罩(3)，其中所述离子源的腔体上开有圆环形的缺口，所述缺口用于放置圆筒形的屏蔽罩，所述屏蔽罩完全包裹所述离子源的火焰；以及设于所述离子源上并与所述屏蔽罩的内部连通的开口(4)，其中所述开口是在所述离子源的腔体上开设的圆形出气口，所述圆形出气口位于所述屏蔽罩内；其中，所述屏蔽罩与所述采样锥之间设有一定间隙(5)，惰性气体通过所述开口流入所述屏蔽罩的内部并经所述间隙流出到所述屏蔽罩之外；其中，所述惰性气体通过所述离子源的腔体内的气路送入所述开口，并经所述开口进入所述屏蔽罩的内部；所述气路是设置在所述离子源的腔体内的圆筒形管道，所述惰性气体流入所述圆筒形管道内的气体孔隙并通过所述开口进入所述屏蔽罩的内部。