| 发明名称 | OLED基板蒸镀结构以及OLED掩膜缺陷检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种OLED基板蒸镀结构以及OLED掩膜缺陷检测方法，该结构包括：基板；贴合于基板表面的掩膜；以及设置于所述基板和所述掩膜之间的压电感测薄膜。本发明的OLED基板蒸镀结构可以在对基板蒸镀之前发现掩膜存在的缺陷。这种提前检测的方式可以避免在制作出成品之后发现掩膜存在的问题，从而产品的稳定性以及良率。 | ||
| 申请公布号 | CN106350767A | 申请公布日期 | 2017.01.25 |
| 申请号 | CN201510412058.1 | 申请日期 | 2015.07.14 |
| 申请人 | 上海和辉光电有限公司 | 发明人 | 李柏德;张耀宇;严达祥;林进志 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01R19/145(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人 | 曾耀先 |
| 主权项 | 一种OLED基板蒸镀结构，其特征在于包括：基板；贴合于基板表面的掩膜；以及设置于所述基板和所述掩膜之间的压电感测薄膜。 | ||
| 地址 | 201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 | ||