一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵

摘要

一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵，其筒式牵引级采用分段式结构，筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台，环向凹槽与环向凸台彼此正对设置；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凹槽设置在牵引转子上，环向凸台设置在定子上，牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凹槽设置在定子上，环向凸台设置在牵引转子上，定子由环向凹槽分隔成若干定子段；在环向凸台上开设有螺旋槽，环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽气方向上，各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。

主权项

一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵，包括涡轮级、筒式牵引级和驱动主轴，所述涡轮级包括静叶片和动叶轮，所述筒式牵引级包括牵引转子和定子，所述动叶轮及牵引转子固定套装在驱动主轴上，其特征在于：所述筒式牵引级采用分段式结构，筒式牵引级的相邻段之间设置有环向凹槽和环向凸台，环向凹槽与环向凸台彼此正对设置，且环向凹槽和环向凸台的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合。