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发明名称
多結晶シリコン
摘要
Polycrystalline silicon comprises dopants including 1-10 ppta boron, 1-20 ppta phosphorus, 1-10 ppta arsenic and 0.01-1 ppta aluminum, and exhibits a carrier lifetime of at least 2000 mu seconds and not > 4500 mu seconds.
申请公布号
JP6067758(B2)
申请公布日期
2017.01.25
申请号
JP20150003528
申请日期
2015.01.09
申请人
ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG
发明人
ロベルト、バウマン;ロベルト、ヘルツル;ミヒャエル、バイクセルガートナー
分类号
C01B33/035
主分类号
C01B33/035
代理机构
代理人
主权项
地址
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