基板处理装置的温度测定器

摘要

1.本外观设计产品的名称为基板处理装置的温度测定器。2.本外观设计产品是在对多枚半导体晶片等基板一并处理的纵型基板处理装置中使用的温度测定器。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图为最能表明设计要点的视图。