一种阵列基板及其制造方法、显示装置

摘要

本发明涉及显示技术领域，提供一种阵列基板及其制造方法、显示装置。该制造方法在通过过孔电性连接不相邻的两个导电层时，通过多次刻蚀工艺分别刻蚀相邻导电层之间的绝缘层，形成位置对应的绝缘层过孔，以实现不相邻的导电层之间的电性连接。同时，在每次刻蚀工艺中，还可以完成相邻导电层之间通过过孔的电性连接。即在通过过孔电性连接至少三个导电层时，每次刻蚀工艺中均仅刻蚀相邻导电层之间的绝缘层，不会存在深孔和浅孔的区别，避免了浅孔出现过刻和坡度角异常的问题，提高了产品的良率和品质。

主权项

一种阵列基板的制备方法，其特征在于，包括：在一衬底基板上形成第一金属层，对所述第一金属层进行构图工艺，形成包括第一连接图案的图形；在第一金属层上形成第一绝缘层，对所述第一绝缘层进行构图工艺，形成多个第一过孔，所述第一过孔对应于所述第一连接图案的位置；在第一绝缘层上形成第二金属层，对所述第二金属层进行构图工艺，形成包括第二连接图案的图形；在第二金属层上形成第二绝缘层，对所述第二绝缘层进行构图工艺，形成多个过渡过孔和第二过孔，其中，所述过渡过孔对应于所述第一过孔的位置，所述第二过孔对应于所述第二连接图案的位置；在第二绝缘层上形成包括第一导电层的图形；所述在第一金属层上形成第一绝缘层，对所述第一绝缘层进行构图工艺，形成多个第一过孔的步骤还包括：在第一绝缘层上形成包括第二导电层的图形。