具有纳米腔的集成生物感测器及其制作方法

摘要

本发明公开一种具有纳米腔的集成生物感测器及其制作方法，该生物感测器包含有一基底，其上设有一光感测区。在基底上设有一第一介电层、一扩散阻挡层、一第二介电层。第二介电层中设有一沟槽凹陷结构，其内设有一滤光材料层，被一上盖层封盖住。上盖层上设有一第一钝化层以及一纳米腔结构层，其中于纳米腔结构层中，设有一纳米腔。在纳米腔的侧壁及底部设有一第二钝化层。

主权项

一种具有纳米腔的集成生物感测器，包含有：基底，其上设有多个隔离结构，区隔出多个像素区域；光感测区，设于各该像素区域中；第一介电层，设于该基底上；沟槽凹陷结构，设于该第一介电层中并且对应该光感测区；衬层，顺形地设于该沟槽凹陷结构内壁上；滤光材料层，设于该沟槽凹陷结构内的该衬层上；上盖层，设于该沟槽凹陷结构上并直接接触到该滤光材料层的上表面；第一钝化层，设于该上盖层上；纳米腔结构层，设于该第一钝化层上，其中在该滤光材料层正上方的该纳米腔结构层中，设有一纳米腔；以及第二钝化层，设于该纳米腔的侧壁及底部。