一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置

摘要

本实用新型公开了一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置，包括安装在旋转靶管内的磁铁，旋转靶管内设有进水管和出水管，所述旋转靶管内设有封闭式不锈钢套筒，磁铁设在该不锈钢套筒内，进水管从不锈钢套筒上端伸入并从该不锈钢套筒下端穿出，进水管为不锈钢进水管，不锈钢套筒包括不锈钢筒、上端封板和下端封板，上端封板固定安装在不锈钢筒上端，下端封板固定安装在不锈钢筒下端，该不锈钢筒、上端封板和下端封板围合成一个封闭空间。本实用新型通过将磁铁密闭在不锈钢套筒内，使磁铁与冷却水隔绝，保证磁铁不会受到水的侵蚀而生锈。

主权项

一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置，包括安装在旋转靶管内的磁铁，旋转靶管内设有进水管和出水管，其特征在于，所述旋转靶管内设有封闭式不锈钢套筒，磁铁设在该不锈钢套筒内，进水管从不锈钢套筒上端伸入并从该不锈钢套筒下端穿出，进水管为不锈钢进水管。